名古屋工業大学 ナノ材料創製研究室

未来材料創成工学専攻・物質工学専攻/環境材料工学科

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実験装置

代表的な実験装置

プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置

プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置

直流マグネトロンスパッタリング方式の原料気化装置と希ガス中凝縮装置を組合せたナノクラスター試料作製装置で、直径3~15nmの遷移金属クラスターが作製可能です。このクラスター堆積装置は、アルゴン分圧100~500Paでグロー放電を維持しながら差動排気により高真空中でナノサイズの金属・酸化物クラスターを基板上に堆積します。

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着装置

アルバック社製 SPC-2000HCの薄膜作製装置です。プラズマ中にヘリコン波を励起することにより、通常より低いアルゴン分圧(~10-4 Torr)でグロー放電を持続させます。このため、不純物の混入が少なく、アスペクト比の高い高品質の薄膜を作製することができます。

高分解能透過電子顕微鏡

高分解能透過電子顕微鏡

日立製作所製HF-2000の高分解能透過電子顕微鏡です。冷陰極電界放出型の電子銃を備え、加速電圧200kV、分解能0.1nmにおける観察が可能です。EDXによる化学分析、スロースキャンCCDカメラによる像の取り込みに対応しています。また、試料加熱ホルダーも備えており、室温から400℃まで温度領域でTEM観察が可能です。

高周波透磁率測定装置

高周波透磁率測定装置

薄膜軟磁性材料の高周波磁気特性を簡単な操作で高速度、高精度に測定できる計測器です。印加バイアス磁場(max 1 kOe)を変化させながら、1 MHz~3 GHzの広帯域透磁率測定が可能です。励磁磁界は数mOe、励磁電力は-20 dBm~15 dBm(標準10 dBm)試料サイズは5~6(幅)×5(長さ)×1 mm(厚さ)です。

振動試料型磁力計

振動試料型磁力計

磁性材料の磁気特性評価には最適な装置です。広範囲な温度領域(77 K~1200 K)において、高感度で安定な測定が出来ます。磁化測定感度は約1×10-5 emu、最大印加磁場 1.5 Tの電磁石を使用し、真空中およびガス雰囲気中での温度変化測定が可能です。

PLスペクトル・PL寿命測定装置

PLスペクトル・PL寿命測定装置

自作のフォトルミネッセンス(PL)スペクトルを測定する装置です。電子冷却CCD検出器を使っているので高感度です。励起レーザーは、405、532、596、633 nmが使えます。発光寿命測定(発光減衰曲線)も可能です。試料温度は5 K~300 Kで可変です。

UV/VIS/NIR分光光度計

UV/VIS/NIR分光光度計

日本分光V570型分光光度計で、吸収スペクトルと反射スペクトルが測定できます。測定波長は190 nm~2500 nmです。色々な付属装置がそろっており、積分球を使った拡散反射スペクトル測定、入射角度を変えた反射スペクトルの測定も可能です。透過測定には液体窒素、液体Heクライオスタットを使えるように改造してあります。

3次非線形感受率測定装置

3次非線形感受率測定装置

固体薄膜試料と液体試料を対象に、zスキャン法で非線形屈折率と非線形吸収係数を求めることができます。波長は532 nmから900 nmの範囲で可変です。光源には繰り返し周波数10 Hzのレーザーを用いているので、高繰り返しレーザーを使用した場合に問題となる熱屈折効果の影響が少ない測定が可能です。

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